产品的优势和特点
LEGEX系列是初项达0.28μm的高精度CNC三坐标测量机，对所有可能产生误差的因素进行严格分析并排除或最大程度地降低其影响。
●高精度：实现最大允许长度测量误差E0, MPE=1.2+3 L/1000（μm) 。
●高刚性：高刚性桥梁结构设计中使用有限元（FEM）分析，以确保导轨的垂直度和良好的防震性能。满足设备高速时的稳定性，各轴均带有自动调节空气轴承，从而保证设备的高精度测量。
●超高精度单元：各轴上所安装的超高精度晶化玻璃栅尺几乎无热膨胀，并结合最小分辨力为50nm的高性能反射线性编码器，构成了超高精度测长单元
●高速、高加速度：测量速度达到3mm/s。
●实时温度补偿系统：各轴及工件均配备温度补偿传感器，测量时的温度变化能随时补正，并将测量结果校正为20℃时水平。
产品的优势和特点
LEGEX系列是初项达0.28μm的高精度CNC三坐标测量机，对所有可能产生误差的因素进行严格分析并排除或最大程度地降低其影响。
●高精度：实现最大允许长度测量误差E0, MPE=1.2+3 L/1000（μm) 。
●高刚性：高刚性桥梁结构设计中使用有限元（FEM）分析，以确保导轨的垂直度和良好的防震性能。满足设备高速时的稳定性，各轴均带有自动调节空气轴承，从而保证设备的高精度测量。
●超高精度单元：各轴上所安装的超高精度晶化玻璃栅尺几乎无热膨胀，并结合最小分辨力为50nm的高性能反射线性编码器，构成了超高精度测长单元
●高速、高加速度：测量速度达到3mm/s。
●实时温度补偿系统：各轴及工件均配备温度补偿传感器，测量时的温度变化能随时补正，并将测量结果校正为20℃时水平。
