大塚 光波动场三次元显微镜

MINUK可评价nm级的透明的异物・缺陷,一次拍照即可瞬时获得深度方向的信息,可非破坏・非接触・非侵入的进行测量。且无需对焦,可在任意的面进行高速扫描,轻松决定测量位置。

大塚 光波动场三次元显微镜
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*产品型录所记载的设计、规格、参数可能有不定期变动,详情请咨询销售人员。
  • 产品详情
  • 规格参数
  • 产品信息

    特点

    可评价nm级的透明的异物・缺陷 一次拍照即可瞬时获得深度方向的信息 无需对焦,可高速测量 可非破坏・非接触・非侵入的测量 可在任意的面进行高速扫描,轻松决定测量位置

    测量案例

    将肉眼无法看见的透明薄膜表面可视化・定量化

    可以非接触、非破坏性、非侵入性地获得nm级的形状信息。通过一次拍照即可获取深度方向的信息,可以将透明薄膜表面上肉眼不可见的划痕和缺陷的横截面形状数值化实现可视化。

    MINUK海报_20240614_03.jpg


    观察透明薄膜内部的填充剂

    肉眼无法看到的透明薄膜内部的填充剂,通过一次拍照即可观察到。此外,通过在测量后改变深度方向的焦点,可以识别到各个深度的填充剂。
    MINUK海报_20240614_06.jpg


    产品信息

    特点

    可评价nm级的透明的异物・缺陷 一次拍照即可瞬时获得深度方向的信息 无需对焦,可高速测量 可非破坏・非接触・非侵入的测量 可在任意的面进行高速扫描,轻松决定测量位置

    测量案例

    将肉眼无法看见的透明薄膜表面可视化・定量化

    可以非接触、非破坏性、非侵入性地获得nm级的形状信息。通过一次拍照即可获取深度方向的信息,可以将透明薄膜表面上肉眼不可见的划痕和缺陷的横截面形状数值化实现可视化。

    MINUK海报_20240614_03.jpg


    观察透明薄膜内部的填充剂

    肉眼无法看到的透明薄膜内部的填充剂,通过一次拍照即可观察到。此外,通过在测量后改变深度方向的焦点,可以识别到各个深度的填充剂。
    MINUK海报_20240614_06.jpg


  • 规格

    分辨率 x , y6 9 1n m( 一次拍照)、4 8 8 n m( 合成)
    视野 x , y7 0 0×7 0 0μm
    分辨率 z10nm(相位差)
    视野 z±700μm
    样品尺寸10 0×8 0×t 2 0 mm(安装通用样品架时)
    样品台微动X Y样品台(自动)
     X:±10 mm Y:±10 mm
    粗动样品台
    X:12 9 mm Y:8 5 mm
    激光波长 6 3 8 nm
    输出 0 .3 9 mW 以下 C la s s1 ( 对测量样品的照射强度)
    尺寸(长×宽×高)mm本体:5 0 5(W)×6 3 0(D)×4 3 9(H) ± 2 0 m m
    ※不含P C、附属品
    重量41k g
    功耗本体:2 9 0 VA
    ※不含P C、附属品