● 可携带至现场的手持式 ● 可测量0.1μm单位 ● 具有形状的样品也可非破坏的测量 ● 不论基材材质、可测量其镀膜
产品信息
特点
● 可携带至现场的手持式
● 可测量0.1μm单位
● 具有形状的样品也可非破坏的测量
● 不论基材材质、可测量其镀膜
测量项目
膜厚测量范围 | 1μm～50μm |
测量重复性 | 0.01μm |
测量时间 | 1秒以下 |
Smart手持式与其他膜厚仪的比较
●与桌上型光学膜厚仪相比，Smart膜厚仪在“现场”以非破坏式直接量测样品，且可以量测特殊形状样品。
●与接触式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不仅不会破坏您的样品，也不会因用户不同而产生误差且远高于接触式膜厚的量测精度。
●与涡电流/电磁式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不需要制作检量线，且可以量测非金属基材并且得到绝对值！
不需要量测经验，可快速得到精准的膜厚结果。
产品信息
特点
● 可携带至现场的手持式
● 可测量0.1μm单位
● 具有形状的样品也可非破坏的测量
● 不论基材材质、可测量其镀膜
测量项目
膜厚测量范围 | 1μm～50μm |
测量重复性 | 0.01μm |
测量时间 | 1秒以下 |
Smart手持式与其他膜厚仪的比较
●与桌上型光学膜厚仪相比，Smart膜厚仪在“现场”以非破坏式直接量测样品，且可以量测特殊形状样品。
●与接触式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不仅不会破坏您的样品，也不会因用户不同而产生误差且远高于接触式膜厚的量测精度。
●与涡电流/电磁式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不需要制作检量线，且可以量测非金属基材并且得到绝对值！
不需要量测经验，可快速得到精准的膜厚结果。
规格样式
量测原理 | 反射分光法（光干涉法）、非破坏性量测 |
膜厚量测范围 | 1~50μm（显示上限60μm） |
重复精度 | 2.1σ 0.01μm（SiO2膜1μm） |
量测时间 | 1秒内 |
量测层数 | 1层 |
数据输出 | 附属操作屏幕显示或以USB输出Excel档案 |
量测Spot | Φ1mm以下 |
重量 | 约1.1kg |
选配
笔型探头
能够测量狭窄区域或形状的样品。 探头尖端Φ6mm。
非接触式载台
对于湿膜或半导体晶圆等不想接触的样品，可以通过自由设定探头位置进行非接触测量。
