日立 离子研磨仪IM4000II

日立离子研磨仪标准机型IM4000Ⅱ能够进行截面研磨和平面研磨。还可通过低温控制及真空转移等各种选配功能,针对不同样品进行截面研磨。

日立 离子研磨仪IM4000II
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  • 产品详情
  • 规格参数
  • 日立离子研磨仪标准机型IM4000Ⅱ能够进行截面研磨和平面研磨。还可通过低温控制及真空转移等各种选配功能,针对不同样品进行截面研磨。

    高效率的截面研磨

    IM4000II配备截面研磨能力达到500 µm/h*1以上的高效率离子枪。因此,即使是硬质材料,也可以高效地制备出截面样品。

    截面研磨时如果摆动的角度发生变化,加工的宽度和深度也会发生变化。

    复合型研磨仪

    截面研磨

    • 即使是由不同硬度以及研磨速度材质所构成的复合材料,也可以通过IM4000Ⅱ制备出平滑的研磨面

    • 优化加工条件,降低因离子束所致样品的损伤

    • 可装载最大20 mm(W) × 12 mm(D) × 7 mm(H)的样品

    截面研磨的主要用途

    • 金属以及复合材料、高分子材料等样品的截面制备

    • 含有裂缝和空隙等特定位置的样品截面制备

    • 多层样品的截面制备以及对样品EBSD分析的前处理

    平面研磨

    • 直径约为5mm范围内的均匀加工

    • 应用领域广泛

    • 最大可装载直径50 mm × 高度25 mm的样品

    • 可选择旋转和摆动(±60度,±90度的摆动)2种加工方法

    平面研磨的主要用途

    • 去除机械研磨中难以消除的细小划痕和形变

    • 去除样品表层部分

    • 消除因FIB加工所致的损伤层


    选配项

    低温控制功能

    将液氮装入杜瓦罐中,以此作为冷却源间接冷却样品。IM4000Ⅱ配有温度调节控制功能,以防止树脂和橡胶样品过冷。

    需与主机同时订购。

    真空转移功能

    离子研磨加工后的样品可以在不接触空气的状态下直接转移到SEM*1、AFM*2上。真空转移功能与低温控制功能可同时使用。(平面研磨真空转移功能不适用低温控制功能)。

    仅支持带有真空转移交换仓的日立FE-SEM

    仅支持真空型日立AFM。

    观察加工过程的体式显微镜

    搭载了CCD相机的三目型显微镜能够在显示器上进行观察。也可配置双目型体式显微镜。





    日立离子研磨仪标准机型IM4000Ⅱ能够进行截面研磨和平面研磨。还可通过低温控制及真空转移等各种选配功能,针对不同样品进行截面研磨。

    高效率的截面研磨

    IM4000II配备截面研磨能力达到500 µm/h*1以上的高效率离子枪。因此,即使是硬质材料,也可以高效地制备出截面样品。

    截面研磨时如果摆动的角度发生变化,加工的宽度和深度也会发生变化。

    复合型研磨仪

    截面研磨

    • 即使是由不同硬度以及研磨速度材质所构成的复合材料,也可以通过IM4000Ⅱ制备出平滑的研磨面

    • 优化加工条件,降低因离子束所致样品的损伤

    • 可装载最大20 mm(W) × 12 mm(D) × 7 mm(H)的样品

    截面研磨的主要用途

    • 金属以及复合材料、高分子材料等样品的截面制备

    • 含有裂缝和空隙等特定位置的样品截面制备

    • 多层样品的截面制备以及对样品EBSD分析的前处理

    平面研磨

    • 直径约为5mm范围内的均匀加工

    • 应用领域广泛

    • 最大可装载直径50 mm × 高度25 mm的样品

    • 可选择旋转和摆动(±60度,±90度的摆动)2种加工方法

    平面研磨的主要用途

    • 去除机械研磨中难以消除的细小划痕和形变

    • 去除样品表层部分

    • 消除因FIB加工所致的损伤层


    选配项

    低温控制功能

    将液氮装入杜瓦罐中,以此作为冷却源间接冷却样品。IM4000Ⅱ配有温度调节控制功能,以防止树脂和橡胶样品过冷。

    需与主机同时订购。

    真空转移功能

    离子研磨加工后的样品可以在不接触空气的状态下直接转移到SEM*1、AFM*2上。真空转移功能与低温控制功能可同时使用。(平面研磨真空转移功能不适用低温控制功能)。

    仅支持带有真空转移交换仓的日立FE-SEM

    仅支持真空型日立AFM。

    观察加工过程的体式显微镜

    搭载了CCD相机的三目型显微镜能够在显示器上进行观察。也可配置双目型体式显微镜。





  • 主要内容
    使用气体氩气
    氩气流量控制方式质量流量控制
    加速电压0.0 ~ 6.0 kV
    尺寸616(W) × 736(D) × 312(H) mm
    重量主机53 kg+机械泵30 kg
    截面研磨
    最快研磨速度(Si材料)500 µm/h*1以上
    最大样品尺寸20(W)×12(D)×7(H)mm
    样品移动范围X±7 mm、Y 0 ~+3 mm
    离子束间歇加工功能
    开启/关闭 时间设定范围
    1秒 ~ 59分59秒
    摆动角度±15°、±30°、±40°
    广域截面研磨功能-
    平面研磨
    最大加工范围φ32 mm
    最大样品尺寸Φ50 X 25 (H) mm
    样品移动范围X 0~+5 mm
    离子束间歇加工功能
    开启/关闭 时间设定范围
    1秒 ~ 59分59秒
    旋转速度1 rpm、25 rpm
    摆动角度±60°、± 90°
    倾斜角度0 ~ 90°

    *1将Si片从遮挡板边缘突出100 µm并加工1小时的深度。

    选配项

    项目内容
    低温控制功能*2通过液氮间接冷却样品,温度设定范围:0°C ~ -100°C
    超硬遮挡板使用时间约为标准遮挡板的2倍(不含钴)
    加工过程观察用显微镜放大倍数 15× ~ 100× 双目型、三目型(可装CCD)

    *2需与主机同时订购。冷却温度控制功能在使用时,部分功能可能使用有限。