表面大粒子检测装置Partsens

用于对洁净室的各个表面的清洁度检测，检测附着到任意表面的沉降大粒子，满足对洁净室表面清洁度的验证与清洁流程的优化。
·设计标准ISO14644-9、GB/T 25915.9按粒子划分表面洁净度等级，1SO14644-13、GB/T 25915.13达到粒子和化学洁净度要求的表面洁净。

·德国汽车工业协会标准VDA19.1与VDA19.2收录在册

·使用便捷、可检测多种表面、采集后立刻检测读数，包含粒子特征属性

·测量范围:非金属粒子2um-3000um，金属粒子25um-3000um，纤维50um -3000um

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  Partsens采用ISO规范之原理并且是唯一被列入VDA19.2(组装洁净章节)的仪器

  测量原理
  

  Partsensiso14644-9符合vda19.2所要求的直接或间接测定之原则，也符合所要求之视斜光系统(glancing light system)。如右图所示，从鉴定区域的左右led入射光线。异物反射光经由透镜汇聚到ccd相机来判读。只要几秒钟的数字化过程后，就可以得到粒子的3d外型、大小数量等，全部的信息。对比其他厂家，只能针对判定物与背景的差异做简单比对，有很大的技术领先。 若要侦测粗糙的表面，搭配专用的采样垫片(Tape lift pad)，可以协助完成测定。

  視斜光系統(glancing light system)

• 测量方法 

• 采样垫片，是专为Partsens设计的辅助工具，特别针对凹凸的表面做有效采样，例如无尘服。我们可以从进出气体浴尘室(air shower)前后的无尘服上采样，来评估气体淋浴的效果。垫片对于平整表面，有99%的高度粒子捕捉效果。
  建议保存环境
  温度10 ~ 20度C
  相对湿度60~70%

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• 测量结果呈现

• 用粒子分类的方式，加快污染的分析Partsens可依性质:金属、非金属、纤维，分别统计三种粒子数量。透过粒子大小，可以进一步判断污染的来源并采取行动
  粒子分类的特色

• 应用

• 洁净流程的最优化环境中的大型粒子，只有透过有效的清扫才能除去。所谓有效的清扫，是指经过最佳化设计的清扫方法。 达成最佳化，就必须在各地点、各表面，设定｢目的清洁度｣* ｢目的清洁度｣=风险粒子数/cm2 执行步骤 : 表面粒子浓度，可以在清洁前后，透过partsens来监测。除了监控特定表面之外，无尘服与生产机具都是partsesn可以监控的范围。
  Partsens的应用

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以partsens来评估现有流程，并加入实验性的改变，机动的调整工具、方法、人数、时间、频率等等因子，得到最佳流程。 将有效流程标准化 落实人员训练，常保洁净度。 指派受过培训的人员进行清洁。